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世界各國各標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)的潔凈室等級標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范

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經(jīng)濟(jì)科技發(fā)達(dá)國家和地區(qū)都有自己的潔凈室等級標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，都規(guī)定了相關(guān)的潔凈度等級。

例如，美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。1984年，中國頒布了《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GBJ73-84)，1996年對該規(guī)范進(jìn)行了重大修改，1990年頒布了《潔凈室施工驗收規(guī)范》(JGJ71-90)，指導(dǎo)施工驗收。目前，該規(guī)范正在重新修訂中。

GBJ73-84規(guī)定的清潔度等級。

等級	每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數(shù)	每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數(shù)
100	《35*100（〈3.5〉
1000	《35*1000（〈35〉	《250（〈0.25〉
10000	《35*10000（〈350〉	《2500（〈2.5〉
100000	《35*100000（〈3500〉	《25000（〈25〉

美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E中的潔凈等級

等級名稱		等級限值
		0.1μm		0.2μm		0.3μm		0.5μm		5μm
		容積單位		容積單位		容積單位		容積單位		容積單位
國際單位	英制單位	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3
M1.0		350	9.91	75.7	2.14	30.9	0.875	10	0.283	/	/
M1.5	1	1240	35.0	265.0	7.5	106	3	35.3	1	/	/
M2.0		3500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	/	/
M2.5	10	12400	350.0	2650	75	1060	30	353	10	/	/
M3.0		35000	991.0	7570	214	3090	87.5	1000	28.3	/	/
M3.5	100	/	/	26500	750	10600	300	3530	100	/	/
M4.0		/	/	75700	2140	30900	875	10000	283	/	/
M4.5	1000	/	/	/	/	/	/	35300	1000	247	7
M5.0		/	/	/	/	/	/	100000	2830	618	17.5
M5.5	10000	/	/	/	/	/	/	353000	10000	2470	70
M6.0		/	/	/	/	/	/	1000000	28300	6180	175
M6.5	100000	/	/	/	/	/	/	3530000	100000	24700	700
M7.0		/	/	/	/	/	/	10000000	283000	61800	1750

美國宇航局標(biāo)準(zhǔn)NHB5340.2中的潔凈等級

生物潔凈室標(biāo)準(zhǔn)	塵埃		生物粒子		壓力	溫度	濕度	氣流	照度
生物潔凈室標(biāo)準(zhǔn)	粒徑 (μm)	個/L	浮游量 (個/L)	浮沉量 (個/m2周)	mmH2O	℃	%	換氣次數(shù)	Lx
100	≥0.5	≤3.5	≤0.0035	12900	≥1.25	指定數(shù)	40~45		1000~1620
10000	≥0.5 ≥5.0	≤350 ≤2.3	≤0.0176	64600	≥1.25
100000	≥0.5 ≥5.0	≤3500 ≤23	≤0.0884	323000	≥1.25

日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JISB-9920-1989中的潔凈度等級

粒徑(μm)	潔凈度等級(個/m3)
粒徑(μm)	1級	2級	3級	4級	5級	6級	7級	8級
0.1	101	102	103	104	105	106	107	108
0.2	2	24	236	2360	23600
0.3	1	10	101	1010	10100	101000	1010000	10100000
0.5	0.35	3.5	35	350	3500	35000	350000	3500000
5.0	/	/	/	/	29	290	2900	29000

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