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潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644根據(jù)懸浮顆粒濃度的唯一指標(biāo)劃分潔凈室（區(qū)）和相關(guān)控制環(huán)境中的空氣潔凈度等級(jí)，只考慮0.1um~0.5um范圍內(nèi)累計(jì)分布的顆粒組。根據(jù)粒徑，可分為傳統(tǒng)粒子（0.1um~0.5um）、超微粒子（0.1um）和宏粒子（>5.0um）。
ISO14644-1(國際標(biāo)準(zhǔn))
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空氣潔凈 |
大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子） |
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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
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ISO Class1 |
10 |
2 |
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ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
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ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
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ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
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ISO Class7 |
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352,000 |
83,200 |
2,930 |
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ISO Class8 |
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3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
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ISO Class9 |
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35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
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注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個(gè)有效的濃度數(shù)字來確定等級(jí)水平 |
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GB/T16292-1996(中國標(biāo)準(zhǔn))空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
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粒徑、數(shù)值 |
塵埃最大允許數(shù)/立方米 |
微生物做大允許數(shù) |
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≥0.5um |
≥5.0um |
游浮菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
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100級(jí) |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
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1,000級(jí) |
35,000 |
200 |
50 |
2 |
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10,000級(jí) |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
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100,000級(jí) |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
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300,000級(jí) |
10,500,000 |
60,000 |
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15 |
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美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)（USA Federal Standard）
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國家藥品監(jiān)督管理局1999年8月1日發(fā)布實(shí)施 |
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國家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001 |
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